EasyProbe(SEM/EDS一体机）
发布：http://www.xlbcb.com/ | 作者： | 发表时间：2009-12-31
致远公司在原样机的基础上进行二次开发而研制，在保持原样机所有功能的前提下满足了客户的个性化需求，其产品投放市场后已取得了良好的经济效益，深受用户赞誉。
仪器介绍
VEGA 3 EasyProbe可分为高真空型和可变真空型，其运用的领域非常广泛，适合各类高等院校或公司选择。EasyProbe是SEM/EDS一体化机型，实现了One-Touch式的操作，使得操作非常简单，甚至没有经验的人员也可以在一天内学会操作。此外，EasyProbe可以说是性价比最高的一款SEM/EDS一体机，软件配置完整，硬件延续原有的VEGA并得到进一步发展，是值得信赖的一款SEM/EDS一体机。
技术参数SEM
1.分辨率:高真空(SE)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
2.放大倍数:6 to 1000000×
3.真空系统:高真空<9*10 -3Pa，
4.加速电压0.2kV to 30Kv
5.电子束电流1pA—20uA
6.样品室内部直径：160mm
7.样品台行程:
3轴马达控制
X=45mm——马达控制
Y=45mm——马达控制
Z=27mm——手动控制
Z'=6mm——手动控制
R=360°连续马达控制
T=-75°至 50°手动
最大样品高度30mm.
EDS
分辨率： 133eV(Mn Kα) at 100,000cps
探头类型： XFlash TM Detector 410 M, 有效面积 10mm2
探头窗口： SLEW，探测元素从B(5)到Am(95)
探头冷却： Peltier couple (无需液氮)
最大输入计数率： 150kcps
定量： 无标样 PB-ZAF
主要特点VEGA 3 EasySEM可以触摸屏进行控制和操作，具有所有图像操作和处理功能以及一键式EDX分析工具栏。 当一键式EDX工具被激活时，系统显示实时SEM图片上选定区域的定量分析结果。
系统根据用户的技能水平可分为3个等级对电镜进行控制。电镜的所有功能都由触摸屏或键盘，鼠标和轨迹球或者选配的控制台通过Window?平台上的VegaTC软件控制。
以上信息由深圳致远公司（http://www.pcbvs.com/index.html）提供。目前，致远公司专业研发团队已经成功实现上述产品的仿制克隆与二次开发项目，长期提供相关项目合作与全套技术资料的转让，诚挚欢迎您来电来访咨询详情。
